（1）导通损耗小，由于其开关速度快、使得其开关损耗也低，因此提高了高频电源的电能转换效率，实现了节能的目的。
（2）驱动需要的功率小，降低了驱动电路的功耗和器件本身产生的热量。除去节能外、还有利于电路工作稳定性的提高。
（3）耐压高，工作余量大，使其工作更安全、可靠，有利于降低高频电源的故障率。
（4）内置肖特基二极管，比一般快恢复二极管速度快、抗电流过载能力强、有利于提高工作稳定性；因无需外接快恢复二极管，使单桥臂器件的数量降低一半、减少了故障点，同时有利于工作均流、工作状态一致性好，降低了故障率。
（5）更突出的一点是碳化硅SIC-MOSFET的性价比高。客观和实事求是地说，用固态器件MOSFET构成的高频感应加热电源替代由真空电子管构成的高频感应加热电源是一个质的跨越。而由碳化硅SIC-MOSFET替代普通硅MOSFET将开启感应加热电源的另一个新篇章。